ci often and soon

diff --git a/nlsop/talk/talk_german.tex b/nlsop/talk/talk_german.tex
index 81816648d9f4dc41653588ba90c927d7401fbf55..58ad976fde79ee25e1b599f80e13dcf285a5f7f1 100644 (file)
--- a/nlsop/talk/talk_german.tex
+++ b/nlsop/talk/talk_german.tex
@@ -4,6 +4,7 @@
 {
 %\usetheme{Berkeley}
 \usetheme{Warsaw}
+%\usetheme{Singapore}
 \setbeamercovered{transparent}
 }
 \usepackage{verbatim}
@@ -52,9 +53,9 @@ Universit"at Augsburg
   \tableofcontents%[pausesections]
 \end{frame}
 
-\section{Einf"uhrung}
+\section{Einf"uhrung und Grundlagen}
 
-  \subsection{Ionenimplantation}
+  \subsection{Einf"uhrung}
 
 \begin{frame}
   \frametitle{Einf"uhrung}
@@ -88,8 +89,6 @@ Universit"at Augsburg
   \end{block}
 \end{frame}
 
-  \subsection{Selbstorganisation}
-
 \begin{frame}
   \frametitle{Einf"uhrung}
   \framesubtitle{Selbstorganisation}
@@ -107,9 +106,7 @@ Universit"at Augsburg
   \end{columns}
 \end{frame}
 
-\section{Grundlagen}
-
-  \subsection{Abbremsung der Ionen}
+  \subsection{Ion-Festk"orper-Wechselwirkung}
 
 \begin{frame}
   \frametitle{Grundlagen}
@@ -157,9 +154,9 @@ Universit"at Augsburg
   \end{block}
 \end{frame}
 
-\section{Experimentelle Befunde}
+\section{Experimentelle Befunde und Modell}
 
-  \subsection[amorphe Phasen]{Lage und Ausdehnung amorpher Phasen}
+  \subsection{Experimentelle Befunde}
 
 \begin{frame}
   \frametitle{Experimentelle Befunde}
@@ -175,26 +172,105 @@ Universit"at Augsburg
 \begin{frame}
   \frametitle{Experimentelle Befunde}
   \framesubtitle{Lage und Ausdehnung amorpher Phasen}
+    \begin{columns}
+      \column{5.5cm}
+        \includegraphics[width=5.5cm]{a-d.eps}
+        {\scriptsize Amorphe Phasen in Abh"angigkeit der Dosis bei $T=150 \, ^{\circ} \mathrm{C}$}
+      \column{5.5cm}
+        \includegraphics[width=5.5cm]{a-t.eps}
+        {\scriptsize Amorphe Phasen in Abh"angigkeit der Temperatur f"ur die Dosis $D=4.3 \times 10^{17} cm^{-2}$}
+    \end{columns}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Experimentelle Befunde}
+  \framesubtitle{Kohlenstoffsegregation}
+    \begin{center}
+      \includegraphics[width=10cm]{eftem.eps}
+        {\scriptsize Hellfeld-TEM- und Elementverteilungsaufnahme. $D=4.3 \times 10^{17} cm^{-2}$, $T=200 \, ^{\circ} \mathrm{C}$.}
+    \end{center}
+\end{frame}
+
+  \subsection{Modell}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Modell}
+    \begin{center}
+      \includegraphics[width=8cm]{modell_ng.eps}
+    \end{center}
+    \begin{itemize}
+      \pause
+      \item "Uberschreitung der S"attigungsgrenze von $C$ in $c-Si$\\
+            $rightarrow$ Nukleation sph"arischer $SiC_x$-Ausscheidungen
+      \pause
+      \item hohe Grenzfl"achenenergie f"ur $3C-SiC$ in $c-Si$
+            $rightarrow$ Ausscheidungen sind amorph
+      \pause
+      \item Dichtereduktion des amorphen $SiC_x$
+            $rightarrow$ laterale Druckspannungen
+      \pause
+      \item amorphe Gebiete als Senke f"ur den Kohlenstoff
+            $\rightarrow$ Abbau der $C$-"Ubers"attigung in $c-Si$
+    \end{itemize}
 \end{frame}
 
+\section{Simulation und Ergebnisse}
+
+  \subsection{Simulation}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Simulation}
+  \framesubtitle{Unterteilung des Targets}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Simulation}
+  \framesubtitle{Algorithmus - Amorphisierung/Rekristallisation}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Simulation}
+  \framesubtitle{Algorithmus - Kohlenstoffeinbau}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+  \frametitle{Simulation}
+  \framesubtitle{Algorithmus - Diffusion/Sputtern}
+\end{frame}
+
+  \subsection{Ergebnisse}
+
 \begin{frame}
-  \frametitle{}
-  \framesubtitle{}
+  \frametitle{Ergebnisse}
+  \framesubtitle{Simulation bis $300 \, nm$ Tiefe}
 \end{frame}
 
 \begin{frame}
-  \frametitle{}
-  \framesubtitle{}
+  \frametitle{Ergebnisse}
+  \framesubtitle{Simulation "uber den gesamten Implantationsbereich}
 \end{frame}
 
+\section{Zusammenfassung und Ausblick}
+
 \begin{frame}
-  \frametitle{}
-  \framesubtitle{}
+  \frametitle{Zusammenfassung}
 \end{frame}
 
 \begin{frame}
-  \frametitle{}
-  \framesubtitle{}
+  \frametitle{Ausblick}
 \end{frame}
 
+\begin{frame}
+  \frametitle{Danksagung}
+  \begin{itemize}
+    \item Prof. Dr. Bernd Stritzker
+    \item PD Volker Eyert
+    \item PD J"org Lindner
+    \item Dipl. Phys. Maik H"aberlen
+    \item Dipl. Phys. Ralf Utermann
+    \item EP4 + Diplomanden
+  \end{itemize}
+\end{frame}
+
+
 \end{document}