+ \framesubtitle{Herstellung breiter lamellarer Bereiche durch einen zweiten Implantationsschritt}
+ \begin{columns}
+ \column{5cm}
+ \begin{block}{Idee}
+ \begin{itemize}
+ \item Grundlage: $180 \, keV$ $C^+$-implantiertes $Si$-Target
+ \item Target durchgehend kristallin (Implantation bei h"oherer Temperatur)
+ \item Bestrahlung mit $2 \, MeV$ $C^+$-Ionen bei $T=150 \, ^{\circ} \mathrm{C}$
+ \end{itemize}
+ \end{block}
+ \column{7cm}
+ \includegraphics[width=7cm]{carbon_sim.eps}
+ \end{columns}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+ \frametitle{Ergebnisse}
+ \framesubtitle{Nukleares Brmeskraft- und Implantationsprofil von $2 \, MeV$ $C^+ \rightarrow Si$}
+ \begin{columns}
+ \column{6cm}
+ \includegraphics[width=6cm]{nel_2mev.eps}
+ \begin{center}
+ Nukleare Bremskraft $2 \, MeV$ $C^+ \rightarrow Si$
+ \end{center}
+ \column{6cm}
+ \includegraphics[width=6cm]{impl_2mev.eps}
+ \begin{center}
+ Implantationsprofil $2 \, MeV$ $C^+ \rightarrow Si$
+ \end{center}
+ \end{columns}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+ \frametitle{Ergebnisse}
+ \framesubtitle{Ergebnisse des zweiten Implantationsschrittes mit $2 \, MeV$ $C^+$-Ionen}
+ \scriptsize{
+ \begin{center}
+ Grundlage: $4.3 \times 10^{17} cm^{-2}$ $180 \, keV$ $C^+$-Implantation\\
+ \includegraphics[width=8cm]{2nd_impl_4_3.eps}
+ \end{center}
+ }
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+ \frametitle{Ergebnisse}
+ \framesubtitle{Ergebnisse des zweiten Implantationsschrittes mit $2 \, MeV$ $C^+$-Ionen}
+ \scriptsize{
+ \begin{center}
+ Grundlage: $1.1 \times 10^{17} cm^{-2}$ $180 \, keV$ $C^+$-Implantation\\
+ \includegraphics[width=8cm]{2nd_impl_1_1.eps}
+ \end{center}
+ }
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+ \frametitle{Ergebnisse}
+ \framesubtitle{Herstellung noch breiterer lamellarer Bereiche durch Mehrfachimplantation}
+ \begin{columns}
+ \column{7cm}
+ \includegraphics[width=7cm]{multiple_impl_cp.eps}
+ \column{5cm}
+ \begin{block}{Idee}
+ \begin{itemize}
+ \item breite, konstante, kastenf"ormige Verteilung des Kohlenstoffs
+ \item Mehrfachimplantation, Energien zwischen $180$ und $10 \, keV$
+ \item Konzentrationsmaximum: $10 \, at.\%$
+ \item Bestrahlung mit $2\, MeV$ $C^+$-Ionen
+ \end{itemize}
+ \end{block}
+ \end{columns}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+ \frametitle{Ergebnisse}
+ \framesubtitle{Ergebniss der $2\, MeV$ $C^+$-Bestrahlung}
+ \begin{center}
+ \includegraphics[width=11cm]{multiple_impl.eps}
+ \end{center}
+\end{frame}
+
+\begin{frame}
+ \frametitle{Ergebnisse}
+ \framesubtitle{Ergebniss der $2\, MeV$ $C^+$-Bestrahlung}
+ \begin{center}
+ \includegraphics[width=10cm]{multiple_ls.eps}
+ \end{center}