\item \emph{Herrn Priv.-Doz. Dr. habil. Volker Eyert} f"ur die Bereitschaft sich dieser Arbeit als Zweitkorrektor anzunehmen,
\item \emph{Herrn Priv.-Doz. Dr. habil. J"org K. N. Lindner} f"ur die Vergabe des interessanten Themas, die engagierte Betreuung und Unterst"utzung, sowie die Durchsicht dieser Arbeit,
\item \emph{Herrn Dipl.-Phys. Maik H"aberlen} f"ur die Betreuung, die Durchsicht des Skriptes und vor allem den Ansto"s zu diesem Thema, und
- \item \emph{Herrn Dipl.-Phys. Ralf Utermann} f"ur einen tempor"aren Zugang zum Rechencluster des Physik Institutes.
+ \item \emph{Herrn Dipl.-Phys. Ralf Utermann} f"ur einen tempor"aren Zugang zum Rechner-Cluster des Physik Institutes.
\end{itemize}
Allen weiteren Mitarbeitern des Lehrstuhls, insbesondere dem Diplomandenzimmer, danke ich recht herzlich f"ur die freundschaftliche Arbeitsatmosph"are.
Nach Auswertung der {\em SRIM}-Datei trifft ein Ion durchschnittlich ungef"ahr $20$ Zellen des Simulationsfensters.
Die Sputterroutine wird nicht ausgef"uhrt, was allerdings keine gro"se Auswirkung auf das Ergebnis hat.
Einerseits ist die nukleare Bremskraft f"ur $MeV$-Ionen deutlich kleiner als f"ur die Ionen der Implantation im $keV$ Bereich, was eine wesentlich kleinere Sputterrate zur Folge haben sollte.
- Andererseits kann das nukleare Bremskraftprofil im Bereich der durchs Sputtern verursachten Tiefenverschiebung von einigen $nm$ als nahezu konstant angesehen werden.
+ Andererseits kann das nukleare Bremskraftprofil im Bereich, der durchs Sputtern verursachten Tiefenverschiebung von einigen $nm$, als nahezu konstant angesehen werden.
Unter der Annahme, dass die Implantation mit der selben Dosisrate stattfindet, werden au"serdem die Diffusionsparameter beibehalten.
F"ur die Erzeugung einer Ausgangskonfiguration kann das Programm {\em nlsop\_make\_cryst} (Anhang \ref{section:hilfsmittel}) in einem beliebigen gespeicherten Simulationsergebnis den Status jedes W"urfels auf kristallin ab"andern.
Die Kohlenstoffkonzentration wird nicht ver"andert.
{\em NLSOP} besteht aus einer Mehrzahl von Programmen.
Diese sollen im Folgenden vorgestellt werden.
-Der vollst"andige Quellcode der {\em NLSOP} Version 2 steht unter {\bf http://www.physik.uni-augsburg.de/~zirkelfr/download/nlsop/nlsop.tar.bz2} zum Download bereit.
+Der vollst"andige Quellcode der {\em NLSOP} Version 2 steht im Internet \footnote{http://www.physik.uni-augsburg.de/\~{}zirkelfr/download/nlsop/nlsop.tar.bz2} zum Download bereit.
\section{Server}
\begin{verbatim}
Nach einer einstellbaren Anzahl von Durchl"aufen "ubergibt es Zwischenergebnisse beziehungsweise das Endergebnis an den {\em Server}-Prozess.
Nach Beendigung einer Simulation geht es in den Ruhezustand und wartet auf neue Rechenauftr"age.
+ \clearpage
+
\section{Benutzeroberfl"ache}
\begin{verbatim}
nlsop_gui.c
\item \begin{verbatim} nlsop_make_cryst.c \end{verbatim} \\
Estellt ein Duplikat eines gespeicherten Ergebnisses wobei alle Zust"ande der Volumen auf \dq Kristallin\dq{} gesetzt werden.
\item \begin{verbatim} nlsop_create_cbox.c \end{verbatim} \\
- Erzeugt ein kristallines Target mit einem plateauf"ormigen Verlauf des Kohlenstoffprofils, das in einer Tiefe von $500 nm$ dem Abfall des Kohlenstoffprofils der $180 keV$-Implantation entspricht.
+ Erzeugt ein kristallines Target mit einem plateauf"ormigen Verlauf des Kohlenstoffprofils, das in einer Tiefe von $500 \, nm$ dem Abfall des Kohlenstoffprofils der $180 \, keV$-Implantation entspricht.
\item \begin{verbatim} parse_trim_collision.c \end{verbatim} \\
- Werkzeug zur Auswertung der Datei in der {\em TRIM} detailierte Daten der Kollisionsereignisse protokolliert.
+ Werkzeug zur Auswertung der Datei in der {\em TRIM} detaillierte Daten der Kollisionsereignisse protokolliert.
\item \begin{verbatim} dft.c, dft.h \end{verbatim} \\
- Erstellt die zweidimensionale Fouriertransformation eines Bitmaps.
+ Erstellt die zweidimensionale Fouriertransformation einer Bitmap.
\item \begin{verbatim} linescan.c \end{verbatim} \\
- Erstellt den Linescan "uber ein fouriertransformiertes Bitmap.
+ Erstellt den Linescan "uber eine fouriertransformierte Bitmap.
\item \begin{verbatim} random_parse.sh \end{verbatim} \\
Simples Shell-Script zur Auswertung und "Uberpr"ufung der Zufallszahlen.
\end{itemize}