1 \documentclass[pdf,hdw]{prosper}
4 \usepackage[german]{babel}
5 \usepackage[latin1]{inputenc}
6 \usepackage[T1]{fontenc}
17 \title{Vorstellung der Diplomarbeit}
18 \subtitle{Monte-Carlo-Simulation von selbstorganisierten nanometrischen $SiC_x$-Ausscheidungen in $C^+$-implantierten Silizium}
19 \author{Frank Zirkelbach}
20 \email{frank.zirkelbach@physik.uni-augsburg.de}
21 \institution{Lehrstuhl f"ur Experiemntalphysik IV - Institut f"ur Physik\\Universit"at Augsburg}
22 \slideCaption{Lehrstuhlseminar Experimentalphysik IV - 10.11.2005}
23 \Logo{\includegraphics[height=1cm]{Lehrstuhl-Logo.eps}}
28 \begin{slide}{"Uberblick}
31 \item Grundlagen der Ionenimplantation
32 \item Experimentelle Befunde
42 \begin{slide}{Motivation}
45 \item exakte Dosierbarkeit
46 \item Reproduzierbarkeit
47 \item frei w"ahlbare Implantationstemperatur