6 \setbeamercovered{transparent}
9 \usepackage[german]{babel}
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11 \usepackage[T1]{fontenc}
17 \graphicspath{{../img}}
20 \title{Vorstellung der Diplomarbeit}
21 \subtitle{Monte-Carlo-Simulation von selbstorganisierten nanometrischen $SiC_x$-Ausscheidungen in $C^+$-implantierten Silizium}
22 \author[F. Zirkelbach]{Frank Zirkelbach \\ \texttt{frank.zirkelbach@physik.uni-augsburg.de}}
24 Institut f"ur Physik\\
25 Lehrstuhl f"ur Experimentalphysik IV\\
28 \pgfdeclareimage[height=1cm]{lst-logo}{Lehrstuhl-Logo.eps}
29 \logo{\pgfuseimage{lst-logo}}
38 \frametitle{"Uberblick}
42 \begin{slide}{"Uberblick}
46 \item Experimentelle Befunde
56 \begin{slide}{Ionenimplantation}
59 \item Ionisation des Atoms/Molek"uls
60 \item Beschleunigung im elektrischen Feld ($500 \, eV - 1 \, GeV$)
61 \item Bestrahlung eines Festk"orpers
63 \FromSlide{4}{$\Rightarrow$ Modifikation oberfl"achennaher Schichten} \\
66 Industrielle Anwendung:\\
67 Dotierung von Halbleiterkristallen}
70 \begin{slide}{Ionenimplantation}
73 \item exakte Kontrollierbarkeit der implantierten Menge
74 \item Reproduzierbarkeit
77 \item frei w"ahlbare Implantationstemperatur
78 \item unabh"angig von der chemischen L"oslichkeitsgrenze
83 \begin{slide}{Selbstorganisation}
86 \begin{minipage}{3.5cm}
87 \onlySlide*{1}{\includegraphics[width=3cm]{ripple_bh.eps}}
88 \onlySlide*{2}{\includegraphics[width=3cm]{bin_leg.eps}}
89 \onlySlide*{3}{\includegraphics[width=3cm]{bolse2.eps}}
91 \begin{minipage}{7.5cm}
93 \item Entstehung von Riffeln auf der Targetoberfl"ache
94 \item separierte Phasen bei der Bestrahlung bin"arer Legierungen
95 \item periodische Rissbildung bei der Bestrahlung mit schnellen und schweren Ionen
99 %\FromSlide{1}{{\footnotesize 1) R. M. Bradley, J. M. E. Harper. J. Vac. Sci. Technol. A6 (1988) 2390\\}}
100 %\FromSlide{2}{{\footnotesize 2) R. A. Enrique, P. Bellon. Phys. Rev. Lett. 60 (1999) 14649\\}}
101 %\FromSlide{3}{{\footnotesize 3) W. Bolse, B. Schattat, A. Feyh. Appl. Phys. A 77 (2003) 11\\}}
106 \begin{slide}{Grundlagen}
109 \begin{minipage}[l]{5cm}
110 \onlySlide{1}{$- \frac{\partial E}{\partial x} = N \Big( {\red S_n(E)} +$ \ldots}
111 \onlySlide{2}{$- \frac{\partial E}{\partial x} = N \Big( {\red S_n(E)} + {\blue S_e(E)} \Big)$}
113 \begin{minipage}[l]{6cm}
115 \item {\red nukleare Bremskraft}\\
116 elastischer Sto"s mit Atomkernen des Targets
117 \item {\blue elektronische Bremskraft}\\
118 inelastischer Sto"s mit Elektronen des Targets