6 Monte-Carlo-Simulation von selbstorganisierten nanometrischen $SiC_x$-Ausscheidungen in $C^+$-implantierten Silizium \\
19 \includegraphics[height=3.3cm]{uni-logo.eps} \\
23 \includegraphics[height=3cm]{Lehrstuhl-Logo.eps}
28 Lehrstuhl für Experimentalphysik IV\\
29 Prof. Dr. Bernd Stritzker\\
31 Universität Augsburg\\