3 \section{Annahmen der Simulation}
5 \subsection{Amorphisierung und Rekristallisation}
11 \section{Auswertung von TRIM Ergebnissen}
13 \subsection{Implantationsprofil und nukleare Bremskraft}
15 \subsection{Durchschnittliche Anzahl der St"o"se der Ionen und Energieabgabe}
17 \section{Simulierte Tiefenbereiche}
19 \section{Simulationsalgorithmus}
21 \subsection{Amorphisierung und Rekristallisation}
23 \subsection{Einbau des implantierten Kohlenstoffs ins Target}
25 \subsection{Diffusion und Sputtern}
27 \section{Ablaufschema}