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1 \chapter{Simulation}
2
3   \section{Annahmen der Simulation}
4
5     \subsection{Amorphisierung und Rekristallisation}
6
7     \subsection{Diffusion}
8
9     \subsection{Sputtern}
10
11   \section{Auswertung von TRIM Ergebnissen}
12
13     \subsection{Implantationsprofil und nukleare Bremskraft}
14
15     \subsection{Durchschnittliche Anzahl der St"o"se der Ionen und Energieabgabe}
16
17   \section{Simulierte Tiefenbereiche}
18
19   \section{Simulationsalgorithmus}
20
21     \subsection{Amorphisierung und Rekristallisation}
22
23     \subsection{Einbau des implantierten Kohlenstoffs ins Target}
24
25     \subsection{Diffusion und Sputtern}
26
27   \section{Ablaufschema}
28