2 \label{chapter:simulation}
4 Im Folgenden soll die Implementation der Monte-Carlo-Simulation nach dem vorangegangen Modell diskutiert werden.
5 Die Simulation tr"agt den Namen {\em NLSOP}, was kurz f"ur die Schlagw"orter {\bf N}ano, {\bf L}amelle und {\bf S}elbst{\bf O}ragnisations{\bf P}rozess steht.
6 Ziel der Simulation ist die Verifizierung des Modells anhand der experimentellen Ergebnisse die in Abbildung \ref{img:xtem_img} vorliegen.
7 Die genauen Daten sind:
9 \item Energie: $E=180 keV$
10 \item Dosis: $D = 4,3 \times 10^{17} cm^{-2}$
11 \item Temperatur: $T = 150 ^{\circ} \mathrm{C}$
12 \item Imlantationswinkel: $\alpha = 7 ^{\circ}$
13 \item Ion/Target Kombination: $C^+ \rightarrow Si (100)$
15 Anzumerken ist, dass es zwei Versionen der Simulation gibt, die unterschiedliche Tiefenbereiche abdecken.
16 Diese unterscheiden sich in einigen Punkten, was den Simualtionsalgorithmus betrifft.
17 Darauf wird in einem gesonderten Abschnitt genauer eingegangen.
18 Der Simulationsalgorithmus wird erkl"art und die dazu ben"otigten Annahmen und Informationen aus {\em TRIM} Ergebnissen werden besprochen.
19 Das Kapitel schliesst mit dem Test der verwendeten Zufallszahlen und dem Ablaufschema der Simulation.
21 \section{Annahmen der Simulation}
23 \subsection{Unterteilung des Targets}
24 \label{subsection:unterteilung}
26 Wie in Abbildung \ref{img:sim_gitter} zu sehen ist, wird das Target in W"urfel mit Seitenl"ange $a = 3 nm$ zerlegt.
28 \includegraphics[width=12cm]{gitter_oZ.eps}
29 \caption{Unterteilung des Targets in W"urfel mit $3 nm$ Kantenl"ange. Jedes Volumen ist entwerder amorph (rot) oder kristallin (blau) und protokolliert die lokale Kohelnstoffkonzentration}
30 \label{img:sim_gitter}
32 Die Anzahl der W"urfel in $x$, $y$ und $z$ Richtung sind frei einstellbar.
33 Ein solches Volumen kann durch den Ortsvektor $\vec{r}(k,l,m)$, wobei $k$, $l$ und $m$ ganze Zahlen sind, addressiert werden.
34 Jeder W"urfel hat entweder den Zustand amorph (rot) oder ist kristallin (blau).
35 Die lokale Anzahl der implantierten Kohlenstoffatome wird ebenfalls protokolliert.
37 Die Ausdehnung des Targets in $x,y$-Richtung ist im Gegensatz zur Tiefe sehr gross und kann als unendlich ausgedehnt angenommen werden.
38 Um die Anzahl der W"urfel in diese Richtungen in der Simulation, aus Gr"unden der Rechenzeit, m"oglichst klein halten zu k"onen, werden periodische Randbedingungen in der $x,y$-Ebene verwendet.
40 \subsection{Amorphisierung und Rekristallisation}
41 \label{subsection:a_and_r}
43 Nach dem in Kapitel \ref{chapter:modell} vorgestellten Modell gibt es drei zur Amorphisierung beitragende Mechanismen.
44 Eine lokale Wahrscheinlichkeit f"ur die Aamorphisierung $p_{c \rightarrow a}$ eines beliebigen kristallinen Volumens $\vec{r}$ setzt sich aus den drei Einzelwahrscheinlichkeiten f"ur die
46 \item \textcolor[rgb]{0,1,1}{ballistische}
47 \item \textcolor{red}{kohlenstoffinduzierte}
48 \item \textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{spannungsinduzierte}
50 Amorphisierung zusammen.
51 Sie wird wie folgt berechnet:
53 p_{c \rightarrow a}(\vec r) = \textcolor[rgb]{0,1,1}{p_{b}} + \textcolor{red}{p_{c} \, c_{Kohlenstoff}(\vec r)} + \textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{\sum_{amorphe \, Nachbarn} \frac{p_{s} \, c_{Kohlenstoff}(\vec{r'})}{(\vec r - \vec{r'})^2}}
57 Die ballistische Amorphisierung besteht nur aus der Konstanten $p_b$.
58 Sie ist unabh"angig vom Ort und somit ein konstanter Beitrag f"ur jedes Volumen.
59 Sie hat keine Einheit.
60 Wieso dieser Beitrag in dieser Art sinnvoll ist, wird in Abschnitt \ref{subsection:parse_trim_coll} gekl"art.
62 Die Wahrscheinlichkeit f"ur die kohlenstoffinduzierte Amorphisierung wird proportional zur lokalen Kohlenstoffkonzentration $c_{Kohlenstoff}$ angenommen.
63 $p_c$ ist die dazugeh"orige Proportionalit"atskosntante und hat demnach die Einheit $[p_c] = m^3$.
65 Der Beitrag der Druckspannungen setzt sich aus den einzelnen Beitr"agen amorpher Gebiete in der selben Ebene, da nur diese Spannungen aus"uben, zusammen.
66 Dabei ist der Wahrscheinlichkeitsbeitrag eines amorphen Volumens $\vec{r'}$ auf das Volumen $\vec{r}$ wieder proprtional zur lokalen Kohlenstoffkonzentration in $\vec{r'}$.
67 Dies ist offensichtlich, denn je mehr Kohlenstoff in dem Volumen, das auf Grund der Dichtereduktion in dem amoprhen Gebiet vorhanden ist, desto groesser die ausgehende Spannung auf die Umgebung.
68 Gleichzeitig ist der Beitrag indirekt proportional zum Abstandsquadrat $(\vec r - \vec{r'})^2$, da der Druck (Druck = Kraft pro Fl"ache) quadratisch mit der Entfernung abf"allt.
69 $p_s$ ist wieder Proportionalit"atskonstante und hat somit die Einheit $[p_s] = m^5$.
71 Die Rekristallisationswahrscheinlichkeit amorpher Gebiete $p_{a \rightarrow c}$ sollte sich genau entgegensetzt zu $p_{c \rightarrow a}$ verhalten und wird deshalb als
73 p_{a \rightarrow c}(\vec r) = 1 - p_{c \rightarrow a}(\vec r)
77 Jedoch muss die direkte Nachbarschaft des Volumens ber"ucksichtigt werden.
78 F"ur die Rekristallisation ist Strukturinformation krsitalliner Nachbarschaft notwendig.
79 Mit einer zunehmenden Anzahl von amorphen Nachbarn sollte die Rekristallisationswahrscheinlichkeit also sukzessive abnehmen und ganz verschwinden wenn kein einziger kristalliner Nachabr vorhanden ist.
80 Mit der im Abschnitt \ref{subsection:unterteilung} beschriebenen Unterteilung hat ein Volumen genau sechs Angriffsfl"achen die als Rekristallisationsfront dienen k"onnen.
81 Damit kann man \eqref{eq:p_ac_local} neu schreiben und man erh"alt:
83 p_{a \rightarrow c}(\vec r) = (1 - p_{c \rightarrow a}(\vec r)) \Big(1 - \frac{\sum_{direkte \, Nachbarn} \delta (\vec{r'})}{6} \Big) \, \textrm{,}
88 \delta (\vec r) = \left\{
90 1 & \textrm{wenn Gebiet bei $\vec r$ amorph} \\
97 Die Proportionalit"atskonstanten $p_b$, $p_c$ und $p_s$ sind frei w"ahlbare Simulationsparameter.
98 Es gilt somit einen Satz von Parametern zu finden, der die gr"o"stm"oglichste "Ubereinstimmung von Simulationsergebiss und dem experimentell gefundenen Ergebniss aus Abbildung \ref{img:xtem_img} zeigt.
99 Durch Variation der gefundenen Parameter k"onnen dann die unterschiedlichen Einfl"usse der verschiedenen Amorphisierungsmechanismen untersucht und der Selbstorganisationsprozess verstanden werden.
101 \subsection{Diffusion}
103 Weiterhin sieht das Modell die M"oglichkeit der Diffusion von Kohelnstoff aus kristallinen in umliegende amorphe Volumina vor.
104 Die Diffusion wird durch zwei weitere Parameter beschrieben.
105 In Zeitintervallen $T_{Diff}$ wird ein Anteil $d_r$ des Kohlenstoffs eines kristallinen Volumens in das benachbarte amorphe Volumen transferiert.
106 Da von einem konstanten Strahlstrom ausgegangen wird, kann die Zeit $T_{Diff}$ auf eine Anzahl von implantierten Ionen $d_v$ abgebildet werden.
107 Die Diffusion des Kohlenstoffs von amorphe in kristalline Gebiete wird also durch die zwei Parameter $d_r$ und $d_v$ gesteuert.
108 Die Parameter sind ebenfalls frei w"ahlbar.
109 Diffusion innerhalb kristalliner Gebiete sowie Diffusion innerhalb amorpher Gebiete wird ausgeschlossen.
111 Prinzipiell sollte man den Kohlenstoff"ubertrag abh"angig von dem bereits vorhandenen Kohlenstoff in dem amorphen Volumen bestimmen.
112 Da die implantierte Dosis maximal die St"ochiometridosis und der Parameter $d_r$ gro"s genug gew"ahlt ist, kommt es nicht zur "Ubers"attigung.
113 Der Kohlenstoff in kristallinen Gebieten ist also immer bestrebt in amorphe Gebiete zu diffundieren um die sehr viel geringere S"attigung im Kristallinen zu reduzieren.
115 \subsection{Sputtern}
117 Es wird von einer, "uber der Oberfl"ache gleichm"assig verteilten und w"ahrend des Implantationsvorgangs konstanten Sputterrate ausgegangen.
118 Auf Grund der Unterteilung des Targets in W"urfel mit Seitenl"ange $3 nm$ muss diese Sputterrate in der Dosis, welche $3 nm$ sputtert, angegeben werden.
119 Jedesmal, nachdem das Programm diese Dosis durchlaufen hat, wird die Sputter-Routine aufgerufen, welche die oberste Targetebene abtr"agt.
121 \section{Auswertung von {\em TRIM} Ergebnissen}
123 Da bereits Programme wie {\em TRIM} die Wechelswirkung der Ionen mit dem Target simulieren und somit ein geeignetes Bremskraft- und Implantationsprofil sowie eine genaue Buchf"uhrung "uber die Sto"skaskaden bereitstellen, wird auf diese Schritte in der Simulation aus Zeitgr"unden verzichtet.
124 Stattdessen werden die von {\em TRIM} erzeugten Statistiken verwendet.
125 Durch die Abbildung von Zufallszahlen auf die so erhaltenen Verteilungen, k"onnen die eigentlichen physikalischen Abl"aufe sehr schnell und einfach behandelt werden.
126 Im Folgenden wird auf die Ermittlung einiger, f"ur {\em NLSOP} wichtige, Statistiken eingegangen.
128 \subsection{Implantationsprofil und nukleare Bremskraft}
131 \includegraphics[width=12cm]{2pTRIM180C.eps}
132 \caption{Von {\em TRIM} ermittelte Reichweitenverteilung und tiefenabh"angige Bremskr"afte f"ur $180 keV$ $C^+ \rightarrow Si$}
133 \label{img:bk_impl_p}
135 Abbildung \ref{img:bk_impl_p} zeigt die von {\em TRIM} ermittelte nukleare und elektronische Bremskraft sowie das Kohlenstoffkonzentrationsprofil f"ur die in dieser Arbeit verwendeten Parameter.
136 Die gestrichelte Linie markiert das Implantationsmaximum.
137 Sputtereffekte und Abweichungne auf Grund der kontinuierlich ver"anderten Targetzusammensetzung w"ahrend der Hochdosisimplantation werden hier allerdings nicht ber"ucksichtigt.
139 Die Profile werden von {\em TRIM} selbst in seperate Dateien geschrieben.
140 Tauscht man die Kommata (Trennung von Ganzzahl und Kommastelle) durch Punkte aus, so kann {\em NLSOP} diese Dateien auslesen und die Profile extrahieren.
142 \subsection{Durchschnittliche Anzahl der St"o"se der Ionen und Energieabgabe}
143 \label{subsection:parse_trim_coll}
145 Weiterhin legt {\em TRIM} eine Datei Namens {\em COLLISION.TXT} an, in der s"amtliche durch jedes Ion verursachte Sto"skaskaden protokolliert sind.
146 Zu jedem Sto"s sind Koordinaten und Energie"ubertrag angegeben.
147 Mit einem zur {\em NLSOP} Suite geh"orendem Programm kann diese Datei ausgewertet werden.
148 Die Daraus gewonnen Ekenntnisse sollen im Folgenden diskutiert werden.
151 \includegraphics[width=12cm]{trim_coll.eps}
152 \caption{Auf das Maximum 1 skalierte tiefenabh"angige Energieabgabe (blau) und Anzahl der Kollisionen (rot)}
153 \label{img:trim_coll}
155 Abbildung \ref{img:trim_coll} zeigt die Energieabgabe und Anzahl der St"o"se von Ionen und Recoils in Abh"angigkeit der Tiefe.
156 Beide Graphen wurden auf das selbe Maximum skaliert.
157 Man erkennt, dass diese nahezu identisch sind.
158 Die durchschnittliche Energieabgabe durch einen Sto"s ist also ungef"ahr konstant und unabh"angig von der Tiefe.
159 Dies ist der Grund f"ur die Wahl eines konstanten Beitrags der ballistischen Amorphisierung in Abschnitt \ref{subsection:a_and_r}.
160 Jeder Sto"s "ubertr"agt durchschnittlich einen konstanten Energiebetrag im Falle einer Kollision, und tr"agt somit einen konstanten Anteil zur Amoprhisierungswahrscheinlichkeit bei.
162 Desweiteren ist nun die Wahrscheinlichkeit f"ur eine Kollision in einer bestimmten Tiefe bekannt.
163 Sie entspricht der nuklearen Bremskraft.
166 \includegraphics[width=12cm]{trim_nel.eps}
167 \caption{Durch {\em TRIM} berechneter nuklearer Energieverlust f"ur $180 keV$ $C^+ \rightarrow Si$}
170 Zum Vergleich zeigt Abbildung \ref{img:trim_nel} die von {\em TRIM} selbst berechnete nukleare Bremskraft.
171 Wie zu erwarten entspricht sie ungef"ahr dem Verlauf der in Abbildung \ref{img:trim_coll} gezeigten Energieabgab.
172 Der Unterschied liegt daran, dass letzteres Profil durch eine gr"ossere Anzahl von {\em TRIM}-Simulationsschritten ermittelt wurde.
173 Dieses Profil wird f"ur {\em NLSOP} benutzt.
175 Ein implantiertes Ion und dadurch entstandene Recoils verursachen jedoch mehr als nur eine Kollision mit den Targetatomen bis es zur Ruhe kommt.
176 Nach dem Auswertungsprogramm hat ein Ion durchschnittlich eine Anzahl von $1088$ Kollisionen bei den gegebenen Bedingungen zur Folge.
177 Die Zahl der getroffenen W"urfel, also Volumina in denen ein Ion mindestens eine Kollision verursacht, ist sehr viel geringer.
178 Das Auswertungsprogramm z"ahlt durchschnittlich $75$ getroffene Volumina pro implantierten Ion.
179 Genauer gesagt z"ahlt das Programm die Anzahl der Ebenen mit $3 nm$ H"ohe in denen Kollisionen verursacht werden.
180 Teilchenbahnen parallel zur Targetoberfl"ache verf"alschen diese Zahl also.
181 Ausserdem werden mehrmalige Durchl"aufe der Ebenen nicht mitgez"ahlt.
182 Man sollte weiterhin beachten, dass Volumina in denen selbst nur eine Kollision stattfindet mitgez"ahlt werden, was allerdings nur sehr unwahrscheinlich zur Amorphisierung f"uhren wird.
183 Daher wird eine Trefferzahl von $h=100$ f"ur die Simulation angenommen.
185 \section{Simulationsalgorithmus}
187 Die Simulation kann in drei Abschnitte geliedert werden.
188 Die beschriebenen Prozeduren werden sequentiell abgearbeitet und beliebig oft durchlaufen.
190 Wenn pro Durchlauf die Anzahl der simulierten Sto"skaskaden gleich der Anzahl der getroffenen Volumina ist, entspricht ein Durchlauf genau einem implantierten Ion.
191 Im Folgenden sei die Anzahl der W"urfel in $x$, $y$ und $z$ Richtung $X$, $Y$ und $Z$.
192 Eine Anzahl von $N$ Durchl"aufen ist damit "aquivalent zur Dosis $D$, die wie folgt gegeben ist:
194 D = \frac{N}{XY(3 nm)^2} \, \textrm{.}
195 \label{eq:dose_steps}
198 Es wird mit einem komplett kristallinen und kohlenstofffreien Target gestartet.
200 \subsection{Amorphisierung und Rekristallisation}
201 \label{subsection:a_r_step}
203 Im ersten Schritt sollen die Kollisionen und die daraus resultierende Amorphisierung beziehungsweise Rekristallisation simuliert werden.
204 Zun"achst muss das gestossene Volumen ausgew"ahlt werden.
205 Die St"o"se sind bez"uglich der $x$ und $y$ Richtung statistisch isotrop verteilt.
206 Zun"achst werden zwei gleichverteilte Zufallszahlen $r_1 \in [0,X[$ und $r_2 \in [0,Y[$ nach \eqref{eq:gleichverteilte_r} ausgew"urfelt.
207 Diese werden auf die ganzen Zahlen $k$ und $l$ abgebildet und bestimmen die Lage des getroffenen Volumens in der $x,y$-Ebene.
208 Eine weitere, mit Hilfe der Verwerfungsmethode aus Abschnitt \ref{subsubsection:verwerf_meth} erzeugte Zufallszahl $r_3 \in [0,Z[$ entsprechend der nuklearen Bremskraft, abgebildet auf die ganze Zahl $m$, legt die Tiefe des getroffenen Volumens fest.
209 Somit hat man den Otrsvektor $\vec{r}(k,l,m)$ f"ur den Amorphisierungs- oder Rekristallisationsvorgang festgelegt.
210 Nun kann die Amorphisierungs- beziehungsweise Rekristallisationswahrscheinlichkeit nach \eqref{eq:p_ca_local} beziehungsweise \eqref{eq:p_ac_genau} berechnet werden.
211 Eine weitere Zufallszahl $r_4 \in [0,1[$ entscheidet dann "uber einen eventuellen Statuswechsel des Volumens.
212 Es gibt folgende M"oglichkeiten:
214 \item Volumen $\vec{r}(k,l,m)$ ist kristallin.\\
215 Wenn $r_4$ kleiner gleich $p_{c \rightarrow a}$ ist, wechselt der Status zu Amorph.
216 Ansonsten bleibt der Status unver"andert.
217 \item Volumen $\vec{r}(k,l,m)$ ist amorph.\\
218 Wenn $r_4$ kleiner gleich $p_{a \rightarrow c}$ ist, wechselt der Status zu Kristallin.
219 Ansonsten bleibt der Status unver"andert.
222 Der Amorphisierungs- und Rekristallisationsschritt wird f"ur die Anzahl der getroffenen Volumina pro implantierten Ion $h$ wiederholt.
224 \subsection{Einbau des implantierten Kohlenstoffs ins Target}
226 Nachdem das Ion die Sto"sprozesse beendet hat, kommt es im Target zur Ruhe.
227 Die Wahl des Volumens in dem das passiert ist analog zur Wahl des getroffenen Volumens.
228 Jedoch wird die Tiefe durch eine Zufallszahl, deren Wahrscheinlichkeitsverteilung der Reichweitenverteilung entspricht, bestimmt.
229 Zur Erzeugung der Zufallszahl wird wieder die in \ref{subsubsection:verwerf_meth} beschriebene Verwerfungsmethode benutzt.
231 In dem ausgew"ahlten W"urfel $\vec{r}(k,l,m)$ wird der Z"ahler f"ur den Kohlenstoff um eins erh"oht.
233 \subsection{Diffusion und Sputtern}
235 Die Diffusions-Routine ist wie folgt realisiert.
236 Die Simulation geht der Reihe nach alle Volumina durch.
237 Im Falle eines amorphen Volumens werden aus direkt anliegenden kristallinen Volumen der Anteil $d_r$ des Kohlenstoffs abgezogen und zu dem amorphen Volumen addiert.
238 Da nur ganze Atome "ubertragen werden k"onnen wird der Betrag auf die n"achst kleinere ganze Zahl abgerundet.
239 Dieser Diffusionsvorgang wird alle $d_v$ Schritte ausgef"uhrt.
241 Die Sputter-Routine wird nach der Dosis, die einem Abtrag von $3 nm$ enstpricht ausgef"uhrt.
242 Der Zusammenhang zwischen Sputterrate $S$ und Anzahl der Simulationsdurchl"aufe $n$ ist demnach wie folgt gegeben:
244 S = \frac{(3 nm)^3 XY }{n} \quad \textrm{.}
246 Nach $n$ Simulationsdurchl"aufen wird eine kohlenstofffreie, kristalline Ebene von unten her eingeschoben.
247 Dies geschieht wie folgt.
248 Der Inhalt der Eben $i$ wrd auf die Ebene $i-1$ (f"ur $i = Z, Z-1, \ldots, 2$) "uberschrieben.
249 Die Information der obersten Ebene $i=1$ geht dabei verloren.
250 Diese entspricht der abgetragenen Ebene.
251 Die Ebene $i=Z$ erh"alt kristallinen Status und die Kohlenstoffkonzentration Null.
253 Dies macht allerdings nur Sinn wenn das Implantationsprofil und die nukleare Bremskraft f"ur die Ebenen tiefer $Z$ auf Null abgefallen ist, um kristalline, kohlenstofffreie Ebenen zu garantieren.
255 Die Sputterrate kann durch {\em TRIM} bestimmt werden.
256 Bei den gegebenen Bedingungen werden ungef"ahr $50 nm$ des Targets bei einer Dosis von $4,3 \times 10^{-17} cm^{-2}$ abgetragen.
258 \section{Simulierte Tiefenbereiche}
259 \label{section:sim_tiefenbereich}
261 Wie bereits erw"ahnt gibt es zwei verschiedene Versionen des Programms, die verschiedene Tiefenbereiche, im Folgenden Simulationsfenster genannt, simulieren.
263 Da in erster Linie der Selbstorganisationsprozess der lamellaren Ausscheidungen an der vorderen Grenzfl"ache der amorphen $SiC_x$-Schicht simuliert werden soll, ist der Tiefenbereich der ersten Version gerade bis zu Beginn der durchgehenden Schicht.
264 Dies entspricht einer Tiefe von ungef"ahr $300 nm$, und somit einer Anzahl von $Z=100$ W"urfeln in $z$-Richtung.
266 Wie in \ref{img:bk_impl_p} gut zu erkennen ist, kann in diesem Tiefenbereich sowohl die Reichweitenverteilung als auch die nukleare Bremskraft durch eine von der Tiefe linear abh"angige Funktion gen"ahert werden.
267 Daher ergeben sich "Anderungen zu den im vorigen Abschnitt erkl"arten Methoden zur Wahl des Volumens in dem ein Sto"sprozess beziehungsweise eine Kohlenstofferh"ohung stattfindet.
269 Die Zufallszahl $z$, die auf die Tiefen-Koordinate $m$ abgebildet wird, muss der Verteilung $p(z)dz = (sz + s_0)dz$ gen"ugen.
270 Dabei sind $s$ unnd $s_0$ die linear gen"aherte nukleare Bremskraft beschreibende Simulationsparameter.
271 Die Transformation wird wie in Abschnitt \ref{subsubsection:lin_g_p} beschrieben durchgef"uhrt.
272 Dasselbe betrifft die Wahl der Tiefen-Koordinate f"ur den Einbau des Kohlenstoffatoms.
273 Anstatt der Wahrscheinlichkeitsverteilung der nuklearen Bremskraft entsprechend wird das linear gen"aherte Implantationsprofil verwendet.
274 Ausserdem wird nicht nach jedem Durchlauf ein Ion im Simulationsbereich zur Ruhe kommen.
275 Da das Maximum der Reichweitenverteilung sehr viel tiefer liegt werden die meisten Ionen ausserhalb des Simulationsfensters stehen bleiben.
276 Daher wird immer nur dann ein Ion eingebaut, wenn der im Simulationsbereich vorhandene Kohlenstoff $n_c$ kleiner als die Anzahl der Durchl"aufe $n$ multipliziert mit dem Verh"altnis der Fl"ache der Implantationskurve $I(x)$ bis $300 nm$ zur Fl"ache der gesamten Implantationskurve ist.
278 n_c < n \frac{\int_0^{300 nm} I(x) dx}{\int_0^{\infty} I(x) dx}
281 Da sowohl die Reichweitenverteilung als auch die nukleare Bremskraft in Ebenen gr"osser $Z$ ungleich Null ist kann Sputtern nicht beachtet werden.
282 Der Diffusionsprozess ist uneingeschr"ankt "moglich.
284 In der zweiten Version wird die gesamte Implantationstiefe simuliert.
285 Das Simulationsfenster geht von $0-700 nm$.
286 Dies entspricht einer Anzahl $Z=233$ von W"urfeln in $z$-Richtung.
288 Die Tiefen-Koordinaten f"ur den Sto"sprozess und die Kohelnstoffinkorporation werden wie in Abschnitt \ref{subsection:a_r_step} beschrieben nach der Verwerfungsmethode entsprechend dem nuklearen Bremskraftprofil und der Reichweitenverteilung gewonnen.
290 Da sowohl der nukleare Energieverlust und die Kohlenstoffkonzentration in Ebenen gr"osser $Z$ auf Null abgesunken ist, kann die Sputterroutine ausgef"uhrt werden.
291 Der Diffusionsprozess ist ebenfalls uneingeschr"ankt m"oglich.
293 \section{Test der Zufallszahlen}
295 F"ur vern"unftige Ergebnisse muss die Qualit"at der Zufallszahlen gesichert sein.
296 Es gibt viele statistische Tests eine Zahlenfolge auf ihre Verteilung beziehungsweise Zuf"alligkeit zu "uberpr"ufen.
298 Im Folgenden soll nur kontrolliert werden, dass f"ur gleichverteilte Zufallszahlen keine lokalen Anh"aufungen von Zahlen existieren.
299 Desweiteren werden die Methoden zur Erzeugung spezieller Wahrscheinlichkeitsverteilungen durch Vergleich der H"aufigkeit auftretender Zufallszahlen mit dem gew"unschten Verlauf "uberpr"uft.
301 Dazu werden f"ur die unterschiedlichen Verteilungen jeweils 10 Millionen Zufallszahlen zwischen $0$ und $232$ erzeugt und auf die n"achst kleinere ganze Zahl abgerundet.
302 Ein einfaches Script-Programm z"ahlt die H"aufigkeit der einzelnen Zufallszahlen der Zufallszahlensequenz.
305 \includegraphics[width=12cm]{random.eps}
306 \caption{H"aufigkeit ganzzahliger Zufallszahlen unterschiedlicher Wahrscheinlichkeitsverteilungen. F"ur jede Verteilung wurden 10 Millionen Zufallszahlen ausgew"urfelt.}
307 \label{img:random_distrib}
309 Abbildung \ref{img:random_distrib} zeigt die H"aufigkeit von Zufallszahlen zwischen $0$ und $232$, abgerundet auf die n"achst kleinere ganze Zahl, f"ur unterschiedliche Wahrscheinlichkeitsverteilungen.
311 Die blauen Punkte zeigen die Gleichverteilung nach \eqref{eq:gleichverteilte_r}.
312 Man erkennt keine lokalen Anh"aufungen.
314 Die roten Punkte zeigen die H"aufigkeit der Zufallszahlen bei Verwendung einer linear steigenden Wahrscheinlichkeitsverteilung wie in Abschnitt \ref{subsubsection:lin_g_p} beschrieben.
315 Dabei wurde $a=1$, $b=0$ und $Z=233$ gew"ahlt.
316 Wie erwartet zeigen die Punkte einen linearen Verlauf.
318 Die H"aufigkeit der mit der Verwerfungsmethode erzeugten Zufallszahlen entsprechend der nuklearen Bremskraft (gr"un) und dem Implantationsprofil (schwarz) stimmen sehr gut mit den Profilen in Abbildung \ref{img:bk_impl_p} "uberein.
320 \section{Ablaufschema}
322 Das Ablaufshema ist aus Platzgr"unden in zwei Teile gegliedert.
323 Abbildung \ref{img:flowchart1} zeigt das Ablaufshema des Amorphisierungs- und Rekristallisationsvorgangs.
324 In Abbildung \ref{img:flowchart2} wird der Kohlenstoffeinbau sowie Diffusion und Sputtern behandelt.
327 \begin{pspicture}(0,0)(12,18)
329 \rput(6,18){\rnode{start}{\psframebox{{\em NLSOP} Start}}}
331 \rput(6,16){\rnode{random1}{\psframebox{\parbox{7.5cm}{
332 Ausw"urfeln der Zufallszahlen:\\
333 $R_1$, $R_2$, $R_3$ entsprechend nuklearer Bremskraft\\
336 \ncline[]{->}{start}{random1}
338 \rput(6,14){\rnode{koord_wahl}{\psframebox{\parbox{7.5cm}{
339 Bestimmung von $\vec{r}(k,l,m)$ durch Abbildung von $R_1$, $R_2$ und $R_3$ auf $k$, $l$ und $m$
341 \ncline[]{->}{random1}{koord_wahl}
343 \rput(6,11){\rnode{berechnung_pca}{\psframebox{\parbox{12cm}{
344 Berechnung von $p_{c \rightarrow a}(\vec{r})$ und $p_{a \rightarrow c}(\vec{r})$:
347 p_{c \rightarrow a}(\vec r) & = & p_{b} + p_{c} \, c_{Kohlenstoff}(\vec r) + \sum_{amorphe \, Nachbarn} \frac{p_{s} \, c_{Kohlenstoff}(\vec{r'})}{(\vec r - \vec{r'})^2} \\
348 p_{a \rightarrow c}(\vec r) & = & (1 - p_{c \rightarrow a}(\vec r)) \Big(1 - \frac{\sum_{direkte \, Nachbarn} \delta (\vec{r'})}{6} \Big)
352 \delta (\vec r) = \left\{
354 1 & \textrm{wenn Gebiet bei $\vec r$ amorph} \\
355 0 & \textrm{sonst} \\
360 \ncline[]{->}{koord_wahl}{berechnung_pca}
362 \rput(6,8){\rnode{status}{\psframebox{Volumen $\vec{r}(k,l,m)$ amorph?}}}
363 \ncline[]{->}{berechnung_pca}{status}
365 \rput(3,6){\rnode{cryst}{\psframebox[linestyle=solid,linecolor=blue]{$R_4 \le p_{c \rightarrow a}$?}}}
366 \rput(9,6){\rnode{amorph}{\psframebox[linestyle=solid,linecolor=red]{$R_4 \le p_{a \rightarrow c}$?}}}
367 \ncline[]{->}{status}{cryst}
370 \ncline[]{->}{status}{amorph}
373 \rput(3,4){\rnode{do_amorph}{\psframebox[linestyle=solid,linecolor=red]{Setze Volumen amorph}}}
374 \ncline[]{->}{cryst}{do_amorph}
377 \rput(9,4){\rnode{do_cryst}{\psframebox[linestyle=solid,linecolor=blue]{Setze Volumen kristallin}}}
378 \ncline[]{->}{amorph}{do_cryst}
381 \rput(6,3){\rnode{check_h}{\psframebox{Anzahl der Durchl"aufe gleich Anzahl der Treffer pro Ion?}}}
383 \rput(6,6){\pnode{h_2}}
384 \ncline[]{amorph}{h_2}
385 \ncline[]{->}{h_2}{check_h}
388 \rput(6,6){\pnode{h_3}}
389 \ncline[]{cryst}{h_3}
390 \ncline[]{->}{h_3}{check_h}
393 \rput(13,3){\pnode{h_4}}
394 \rput(13,16){\pnode{h_5}}
395 \ncline[]{check_h}{h_4}
398 \ncline[]{->}{h_5}{random1}
400 \ncline[]{->}{do_cryst}{check_h}
401 \ncline[]{->}{do_amorph}{check_h}
403 \rput(6,1){\rnode{weiter_1}{\psframebox{$\bigotimes$}}}
404 \ncline[]{->}{check_h}{weiter_1}
408 \caption{{\em NLSOP} Ablaufshema Teil 1: Amorphisierung und Rekristallisation.}
409 \label{img:flowchart1}
413 \begin{pspicture}(0,0)(12,18)
415 \rput(6,18){\rnode{weiter_2}{\psframebox{$\bigotimes$}}}
417 \rput(6,16){\rnode{random2}{\psframebox[fillstyle=solid,fillcolor=green]{\parbox{7.5cm}{
418 Ausw"urfeln der Zufallszahlen:\\
419 $R_5$, $R_6$, $R_7$ entsprechend Reichweitenverteilung
421 \ncline[]{->}{weiter_2}{random2}
423 \rput(2,14){\rnode{koord_wahl_i}{\psframebox[fillstyle=solid,fillcolor=green]{\parbox{7cm}{
424 Bestimmung von $\vec{r}(k,l,m)$ durch Abbildung von $R_5$, $R_6$ und $R_7$ auf $k$, $l$ und $m$
426 \ncbar[angleA=180,angleB=180]{->}{random2}{koord_wahl_i}
428 \rput(10,14){\rnode{inc_c}{\psframebox[fillstyle=solid,fillcolor=green]{\parbox{7cm}{
429 Erh"ohung des Kohlenstoffs im Volumen $\vec{r}(k,l,m)$
431 \ncline[]{->}{koord_wahl_i}{inc_c}
433 \rput(10,12){\rnode{is_d}{\psframebox[fillstyle=solid,fillcolor=yellow]{Durchlauf vielfaches von $d_v$?}}}
434 \ncline[]{->}{inc_c}{is_d}
436 \rput(2,12){\rnode{is_s}{\psframebox[fillstyle=solid,fillcolor=red]{Durchlauf vielfaches von $n$?}}}
437 \ncline[]{->}{is_d}{is_s}
440 \rput(10,10){\rnode{loop_d}{\psframebox[fillstyle=solid,fillcolor=yellow]{Gehe alle/verbleibende Volumina durch?}}}
441 \ncline[]{->}{is_d}{loop_d}
444 \rput(10,9){\rnode{d_is_amorph}{\psframebox[fillstyle=solid,fillcolor=yellow]{Volumen $\vec{r}(k,l,m)$ amorph?}}}
445 \ncline[]{->}{loop_d}{d_is_amorph}
447 \rput(10,7){\rnode{loop_dn}{\psframebox[fillstyle=solid,fillcolor=yellow]{\parbox{4cm}{
448 Gehe alle/verbleibende\\
449 direkte Nachbarn durch
451 \ncline[]{->}{d_is_amorph}{loop_dn}
454 \rput(10,6){\rnode{is_cryst}{\psframebox[fillstyle=solid,fillcolor=yellow]{Nachbarvolumen kristallin?}}}
455 \ncline[]{->}{loop_dn}{is_cryst}
457 \rput(11,4){\rnode{transfer}{\psframebox[fillstyle=solid,fillcolor=yellow]{\parbox{3.5cm}{
458 "Ubertrage den Anteil $d_r$ des Kohlenstoffs
460 \ncline[]{->}{is_cryst}{transfer}
463 \rput(10,3){\rnode{check_dn}{\psframebox[fillstyle=solid,fillcolor=yellow]{Alle Nachbarn durch?}}}
464 \ncline[]{->}{transfer}{check_dn}
465 \rput(8.5,5){\pnode{h1}}
466 \ncline[]{is_cryst}{h1}
467 \rput(8.5,3.2){\pnode{h2}}
468 \ncline[]{->}{h1}{h2}
470 \rput(13,3){\pnode{h3}}
471 \ncline[]{check_dn}{h3}
472 \rput(13,7){\pnode{h4}}
475 \ncline[]{->}{h4}{loop_dn}
477 \rput(10,1){\rnode{check_d}{\psframebox[fillstyle=solid,fillcolor=yellow]{Alle Volumina durch?}}}
478 \ncline[]{->}{check_dn}{check_d}
480 \rput(13.5,1){\pnode{h5}}
481 \ncline[]{check_d}{h5}
482 \rput(13.5,10){\pnode{h6}}
485 \ncline[]{->}{h6}{loop_d}
486 \rput(6,1){\pnode{h7}}
487 \ncline[]{check_d}{h7}
489 \rput(6,11){\pnode{h8}}
491 \rput(4.4,11.9){\pnode{h9}}
492 \ncline[]{->}{h8}{h9}
494 \rput(2,9){\rnode{s_p}{\psframebox[fillstyle=solid,fillcolor=red]{\parbox{7cm}{
497 \item Kopiere Inhalt von Ebene $i$ nach\\
498 Ebene $i-1$ f"ur $i = Z,Z-1,\ldots ,2$
499 \item Setze Status jedes Volumens in Ebene $Z$ kristallin
500 \item Setze Kohlenstoff jedes Volumens in Ebene $Z$ auf Null
503 \ncline[]{->}{is_d}{loop_d}
505 \ncline[]{->}{is_s}{s_p}
507 \rput(2,5){\rnode{check_n}{\psframebox{\parbox{4cm}{
508 Anzahl Durchl"aufe entsprechend Dosis?
510 \ncline[]{->}{s_p}{check_n}
512 \rput(4,3){\rnode{start}{\psframebox{{\em NLSOP} Start}}}
513 \ncline[]{->}{check_n}{start}
515 \rput(0,3){\rnode{stop}{\psframebox{{\em NLSOP} Stop}}}
516 \ncline[]{->}{check_n}{stop}
520 \caption{{\em NLSOP} Ablaufshema Teil 2: Kohlenstoffeinbau (gr"un), Diffusion (gelb) und Sputtervorgang (rot).}
521 \label{img:flowchart2}