1 \addcontentsline{toc}{chapter}{Literaturverzeichnis}
2 \begin{thebibliography}{99}
3 \bibitem{herstellung_sic_schicht} J. K. N. Lindner, K. Volz, U. Preckwinkel, B. G"otz, A. Frohnwieser, B. Rauschenbach, B. Stritzker. Mat. Chem. and Phys. 46 (1996) 147.
4 \bibitem{vorstellung_modell} J. K. N. Lindner, M. H"aberlen, M. Schmidt, W. Attenberger, B. Stritzker. Nucl. Instr. and Meth. B 186 (2000) 206-211.
5 \bibitem{park_miller_zufall} S. K. Park, K. W. Miller. Communications of the ACM 31 (1988) 1192-1201
6 \bibitem{ziegler_biersack_littmark} J. F. Ziegler, J. B. Biersack, U. Littmark. The Stopping and Range of Ions in Matter, Vol. 1. Pergamon Press, New York, 1985.
7 \bibitem{lss} J. Lindhard, M. Scharff. Phys. Rev. 124 (1961) 128.
8 \bibitem{bethe_bloch} F. Bloch. Ann. der Physik, 16 (1933) 287.
9 \bibitem{lss_2} J. Lindhard, M. Scharff, H. E. Schiott. Kgl. Danske. Videnskab. Selskab., Mat.-Fys. Medd. 33 (1963) Nr. 14.
10 \bibitem{brice1} D. K. Brice. Appl. Phys. Lett. 16 (1970) 103.
11 \bibitem{brice2} D. K. Brice. Ion Implantation Range and Energy Deposition Distribution. IFI Plenum, New York 1975.
12 \bibitem{stein_vook_borders} H. J. Stein, F. L. Vook, J. A. Borders. Appl. Phys. Lett. 16 (1970) 106.
13 \bibitem{kinchin_pease} G. H. Kinchin, R. S. Pease. Rep. Progr. Phys. 18 (1955) 1.
14 \bibitem{biersack_haggmark} J. P. Biersack, L. Haggmark. Nucl. Instr. and Meth. B 174 (1980) 257
15 \bibitem{snead} L. L. Snead, S. J. Zinkle, J. C. Hay, M. C. Osborne. Nucl. Instr. and Meth. B 141 (1998) 123.
16 \bibitem{van_ommen} A. H. van Ommen. Nucl. Instr. and Meth. B 39 (1989) 194.
17 \bibitem{ishimaru} M. Ishimaru, R. M. Dickerson, K. E. Sickafus, Nucl. Instr. and Meth. B 166-167 (2000) 390.