nlsop/diplom/literatur.tex

   1 \addcontentsline{toc}{chapter}{Literaturverzeichnis}
   2 \begin{thebibliography}{99}
   3   \bibitem{bradley_harper} R. M. Bradley, J. M. E. Harper. J. Vac. Sci. Technol. A6 (1988) 2390.
   4   \bibitem{enrique1} R. A. Enrique, P. Bellon. Phys. Rev. Lett. 60 (1999) 14649.
   5   \bibitem{enrique2} R. A. Enrique, P. Bellon. Phys. Rev. Lett. 84 (2000) 2885.
   6   \bibitem{bolse} W. Bolse, B. Schattat, A. Feyh. Appl. Phys. A 77 (2003) 11.
   7   \bibitem{herstellung_sic_schicht} J. K. N. Lindner, K. Volz, U. Preckwinkel, B. G"otz, A. Frohnwieser, B. Rauschenbach, B. Stritzker. Mat. Chem. and Phys. 46 (1996) 147.
   8   \bibitem{sic_buch} J. K. N. Lindner in: Silicon Carbide, Recent Major Advances, ed. by W. J. Choyke, H. Matsunami, G. Pensl. Springer-Verlag, Berlin Heidelberg 2004, pp 251.
   9   \bibitem{da_martin_s} M. Schmidt. Diplomarbeit. Universit"at Augsburg. 1999.
  10   \bibitem{vorstellung_modell} J. K. N. Lindner, M. H"aberlen, M. Schmidt, W. Attenberger, B. Stritzker. Nucl. Instr. and Meth. B 186 (2002) 206.
  11   \bibitem{chef_habil} J. K. N. Lindner. Habilitationsschrift. Universit"at Augsburg. 1999.
  12   \bibitem{maik_da} Maik H"aberlen. Diplomarbeit. Universit"at Augsburg. 2002.
  13   \bibitem{van_ommen} A. H. van Ommen. Nucl. Instr. and Meth. B 39 (1989) 194.
  14   \bibitem{specht} E. D. Specht, D. A. Walko, S. J. Zinkle. Nucl. Instr. and Meth. B 84 (2000) 390.
  15   \bibitem{ishimaru} M. Ishimaru,  R. M. Dickerson, K. E. Sickafus, Nucl. Instr. and Meth. B 166-167 (2000) 390.
  16   \bibitem{knuth} D. E. Knuth. The art of computer programming Vol. 2. Addison-Wesley, 1981.
  17   \bibitem{nr} W. H. Press. Numerical recipes. The art of scientific computing. Cambridge Univ. Pr. 1986.
  18   \bibitem{park_miller_zufall} S. K. Park, K. W. Miller. Communications of the ACM 31 (1988) 1192.
  19   \bibitem{ziegler_biersack_littmark} J. F. Ziegler, J. B. Biersack, U. Littmark. The Stopping and Range of Ions in Matter, Vol. 1. Pergamon Press, New York, 1985.
  20   \bibitem{lss} J. Lindhard, M. Scharff. Phys. Rev. 124 (1961) 128.
  21   \bibitem{bethe_bloch} F. Bloch. Ann. der Physik, 16 (1933) 287.
  22   \bibitem{lss_2} J. Lindhard, M. Scharff, H. E. Schiott. Kgl. Danske. Videnskab. Selskab., Mat.-Fys. Medd. 33 (1963) Nr. 14.
  23   \bibitem{biersack_haggmark} J. P. Biersack, L. Haggmark. Nucl. Instr. and Meth. B 174 (1980) 257
  24   \bibitem{kinchin_pease} G. H. Kinchin, R. S. Pease. Rep. Progr. Phys. 18 (1955) 1.
  25   \bibitem{jackson} K. A. Jackson. J. Mater. Res. 3 (1988) 1218.
  26   \bibitem{spinella} C. Spinella, F. Priolo, R. A. Puglisi, S. Lombardo, S. U. Campisano. Nucl. Instr. and Meth. B 120 (1996) 198.
  27   \bibitem{vook} F. L. Vook in: Radiation Damage and Defects in Semiconductors, ed. by J. E. Whitehouse. Inst. of Phys., London 1972, pp 60.
  28   \bibitem{morehead_crowder} F. F. Morehead, B. L. Crowder. Rad. Eff. 6 (1970) 27.
  29   \bibitem{gibbons} J. F. Gibbons. Proc. IEEE, Vol. 60, No. 9 (1972) 1062.
  30   \bibitem{dennis_hale} J. R. Dennis, E. B. Hale. J. Appl. Phys. 49 (3) (1978) 1119.
  31   \bibitem{hecking1} N. Hecking. Diplomarbeit. Universit"at Dortmund. 1978.
  32   \bibitem{hecking2} N. Hecking, K. F. Heidemann, E. te Kaat. Nucl. Instr. and Meth. B 15 (1986) 760.
  33   \bibitem{naguib} H. M. Naguib, R. Kelly. Rad. Eff. 25 (1975) 1.
  34   \bibitem{carter} G. Carter, D. G. Armour, S. E. Donnely, R. Webb. Rad. Eff. 36 (1978) 1.
  35   \bibitem{basic_phys_proc} J. K. N. Lindner. Nucl. Instr. and Meth. B 178 (2001) 44.
  36   \bibitem{lindner_appl_phys} J. K. N. Lindner. Appl. Phys. A 77 (2003) 27.
  37   \bibitem{linnross} J. Linnross, R. G. Elliman, W. L. Brown. J. Matter. Res. 3 (1988) 1208.
  38   \bibitem{csepregi} L. Csepregi, E. F. Kennedy, T. J. Gallagher, J. W. Mayer, T. W. Sigmon. J. Appl. Phys. 48 (1977) 4234.
  39   \bibitem{kennedy} E. F. Kennedy, L. Csepregi, J. W. Mayer. J. Appl. Phys. 48 (1977) 4241.
  40   \bibitem{taylor} W. J. Taylor, T. Y. Tan, U. G"osele. Appl. Phys. Lett. 62 (1993) 3336.
  41   \bibitem{eftem_tbp} M. H"aberlen, J. K. N. Lindner, B. Stritzker. to be published.
  42   \bibitem{maik_temper} M. H"aberlen, J. K. N. Lindner. B. Stritzker. Nucl. Instr. and Meth. B 206 (2003) 916.
  43   \bibitem{horton} L. L. Horton, J. Bentley, L. Romana, A. Perez, C. J. McHargue, J. C. McCallum. nucl. Instr. and Meth. B 65 (1992) 345.
  44   \bibitem{skorupa} W. Skorupa, V. Heera, Y. Pacaud, H. Weishart in: F. Priolo, J. K. N. Lindner, A. Nylandsted Larsen, J. M. Poate (Eds.). New Trends in Ion Beam Processing of Materials. Europ. Mater. Res. Soc. Symp. Proc. 65 Part 1. Elsevier Amsterdamm (1977) 114.
  45   \bibitem{fib} J. K. N. Lindner, S. Kubsky, A. Schertel. Mater. Sci. and Eng. B 102 (2003) 70.
  46   \bibitem{reiber} J. K. N. Lindner, W. Reiber, B. Stritzker. Mater. Sci. Forum 264-268 (1998) 215.
  47   \bibitem{goetz} J. K. N. Lindner, M. H"aberlen, G. Thorwarth, B. Stritzker. accept. for publ. in Nucl. Instr. and Meth. B (2005).
  48   \bibitem{bean} A. R. Bean, R. C. Newman. J. Phys. Chem. Solids 32 (1971) 1211.
  49   \bibitem{kerningham_ritchie} B. W. Kernighan, D. M. Ritchie. The C programming language 2. ed. Prentice Hall software series, 1988.
  50   \bibitem{sha} A. Menzes, P. van Oorschot, S. Vanstone. Handbook of Applied Cryptography. CRC Press, Inc., 1997.
  51   \bibitem{joerg_hecking} J. K. N. Lindner, N. Hecking, E. Te Kaat. Nucl. Instr. and Meth. B. 26 (1987) 551.
  52   \bibitem{wong} Dihu Chen, Z. M. Liao, L. Wang, H. Z. Wang, Fuli Zhao, W. Y. Cheung, S. P. Wong. Opt. Mater. 23 (2003) 65.
  53 \end{thebibliography}