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1 \chapter{Ergebnisse}
2
3   \section{Simulation bis $300 nm$ Tiefe}
4
5     \subsection{Vergleich von Simulationsergebnis und TEM-Aufnahme}
6
7     \subsection{Notwendigkeit der Diffusion}
8
9     \subsection{Einfluss der Druckspannungen}
10
11     \subsection{Verteilung des Kohlenstoffs im Target}
12
13   \section{Simulation "uber den gesamten Implantationsbereich}
14
15     \subsection{Reproduzierbarkeit der Dosisentwicklung}
16
17     \subsection{Variation der Simulationsparameter}
18
19     \subsection{Kohlenstoffverteilung}
20
21     \subsection{Variation der Ion-Target-Kombination}
22