3 \section{Simulation bis $300 nm$ Tiefe}
5 \subsection{Vergleich von Simulationsergebnis und TEM-Aufnahme}
7 \subsection{Notwendigkeit der Diffusion}
9 \subsection{Einfluss der Druckspannungen}
11 \subsection{Verteilung des Kohlenstoffs im Target}
13 \section{Simulation "uber den gesamten Implantationsbereich}
15 \subsection{Reproduzierbarkeit der Dosisentwicklung}
17 \subsection{Variation der Simulationsparameter}
19 \subsection{Kohlenstoffverteilung}
21 \subsection{Variation der Ion-Target-Kombination}