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38 \hyphenation{Mon-te"=Car-lo"=Si-mu-la-tions-code Tar-get-atoms}
41 \author{Frank Zirkelbach}
42 \title{Monte Carlo Simulation von selbstorganisierten nanometrischen $SiC_x$-Ausscheidungen in $C^+$-implantierten Silizium}
58 \include{zuzsammenfassung_ausblick}