From: hackbard Date: Fri, 25 Feb 2005 21:05:45 +0000 (+0000) Subject: some more fixes X-Git-Url: https://hackdaworld.org/gitweb/?a=commitdiff_plain;h=d77f5e47f66568ad87e09a8870437e4e5d3ff6d1;p=lectures%2Flatex.git some more fixes --- diff --git a/nlsop/nlsop_dpg_2005.tex b/nlsop/nlsop_dpg_2005.tex index b3eb0fd..18159d6 100644 --- a/nlsop/nlsop_dpg_2005.tex +++ b/nlsop/nlsop_dpg_2005.tex @@ -91,33 +91,6 @@ \end{itemize} \end{slide} -\begin{slide} -{\large\bf - Amorphisierungs und Rekristallisationswahrscheinlichkeit \\ -} -Beitr"age zur Amorphisierung -\begin{itemize} - \item \textcolor[rgb]{0,1,1}{ballistisch} - \item \textcolor{red}{kohlenstoffinduziert} - \item \textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{spannungsinduziert} -\end{itemize} -\vspace{12pt} -Berechnung der Wahrscheinlichkeiten -\[ - \begin{array}{ll} - \displaystyle p_{c \rightarrow a}(\vec r) = \textcolor[rgb]{0,1,1}{p_{b}} + \textcolor{red}{p_{c} \, c_{Kohlenstoff}(\vec r)} + \textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{\sum_{amorphe \, Nachbarn} \frac{p_{s} \, c_{Kohlenstoff}(\vec{r'})}{(\vec r - \vec{r'})^2}} \\ - \vspace{6pt} - p_{a \rightarrow c}(\vec r) = (1 - p_{c \rightarrow a}(\vec r)) \displaystyle \Big( 1 - \frac{\sum_{direkte \, Nachbarn} \delta (\vec{r'})}{6} \Big) \, \textrm{, mit} \\ - \end{array} -\] -\begin{displaymath} - \delta (\vec r) = \left\{ \begin{array}{ll} - 1 & \textrm{wenn Gebiet bei $\vec r$ amorph} \\ - 0 & \textrm{sonst} \\ - \end{array} \right. -\end{displaymath} -\end{slide} - \begin{slide} {\large\bf Simulation @@ -142,39 +115,70 @@ Berechnung der Wahrscheinlichkeiten \hline{} Implantationsprofil & linear gen"ahert & exakt (TRIM) \\ \hline{} - Kollision pro implantierten Teilchen & $1$ & exakt (TRIM) \\ + Treffer pro implantierten Teilchen & $1$ & exakt (TRIM) \\ \hline{} - Anzahl der implantierten Teilchen & ~ $30$ Millionen & $\equiv$ Dosis \\ + Anzahl der implantierten Teilchen & freier Parameter & $\equiv$ Dosis \\ \end{tabular} \end{slide} +\begin{slide} +{\large\bf + Amorphisierungs und Rekristallisationswahrscheinlichkeit \\ +} +%\begin{itemize} +% \item \textcolor[rgb]{0,1,1}{ballistisch} +% \item \textcolor{red}{kohlenstoffinduziert} +% \item \textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{spannungsinduziert} +%\end{itemize} +\[ + \displaystyle p_{c \rightarrow a}(\vec r) = \textcolor[rgb]{0,1,1}{p_{b}} + \textcolor{red}{p_{c} \, c_{Kohlenstoff}(\vec r)} + \textcolor[rgb]{0.5,0.25,0.12}{\sum_{amorphe \, Nachbarn} \frac{p_{s} \, c_{Kohlenstoff}(\vec{r'})}{(\vec r - \vec{r'})^2}} \\ +\] + +\[ + p_{a \rightarrow c}(\vec r) = (1 - p_{c \rightarrow a}(\vec r)) \displaystyle \Big( 1 - \frac{\sum_{direkte \, Nachbarn} \delta (\vec{r'})}{6} \Big) \, \textrm{, mit} \\ +\] +\begin{displaymath} + \delta (\vec r) = \left\{ \begin{array}{ll} + 1 & \textrm{wenn Gebiet bei $\vec r$ amorph} \\ + 0 & \textrm{sonst} \\ + \end{array} \right. +\end{displaymath} +\end{slide} + \begin{slide} {\large\bf Simulationsalgorithmus } -\begin{enumerate} - \item Amorphisierung/Rekristallisation - \begin{itemize} - \item gewichtete Wahl der Koordinaten f"ur Sto"sprozess entsprechend nuklearer Bremskraft - \item Berechnung der lokalen Amorphisierungs- bzw. Rekristallisationswahrscheinlichkeit $p_{c \rightarrow a}$ und $p_{a \rightarrow c}$ - \item Ausw"urfeln der entscheidenden Zufallszahl - \end{itemize} - \item Einbau des implantierten Kohlenstoffions ins Silizium-Target - \begin{itemize} - \item gewichtete Wahl der Koordinaten f"ur Kohlenstofferh"ohung entsprechend Implantationsprofil - \item lokale Erh"ohung des Kohelnstoffgehalts - \end{itemize} - \item Diffusionsprozess und Sputtern - \begin{itemize} - \item Kohelnstoffdiffusion von kristallinen in amorphe Gebiete alle $d_v$ Schritte: - \[ - \Delta c = c_C(Nachbar) \times dr_{ac} - \] - \item Nachr"ucken einer kristallinen kohlenstofffreien Ebene von oben - \end{itemize} -\end{enumerate} + \includegraphics[width=10cm]{flowchart.eps} \end{slide} +%\begin{slide} +%{\large\bf +% Simulationsalgorithmus +%} +%\begin{enumerate} +% \item Amorphisierung/Rekristallisation +% \begin{itemize} +% \item gewichtete Wahl der Koordinaten f"ur Sto"sprozess entsprechend nuklearer Bremskraft +% \item Berechnung der lokalen Amorphisierungs- bzw. Rekristallisationswahrscheinlichkeit $p_{c \rightarrow a}$ und $p_{a \rightarrow c}$ +% \item Ausw"urfeln der entscheidenden Zufallszahl +% \end{itemize} +% \item Einbau des implantierten Kohlenstoffions ins Silizium-Target +% \begin{itemize} +% \item gewichtete Wahl der Koordinaten f"ur Kohlenstofferh"ohung entsprechend Implantationsprofil +% \item lokale Erh"ohung des Kohelnstoffgehalts +% \end{itemize} +% \item Diffusionsprozess und Sputtern +% \begin{itemize} +% \item Kohelnstoffdiffusion von kristallinen in amorphe Gebiete alle $d_v$ Schritte: +% \[ +% \Delta c = c_C(Nachbar) \times dr_{ac} +% \] +% \item Nachr"ucken einer kristallinen kohlenstofffreien Ebene von oben +% \end{itemize} +%\end{enumerate} +%\end{slide} + \begin{slide} {\large\bf Ergebnisse - Version 1 @@ -217,15 +221,14 @@ Berechnung der Wahrscheinlichkeiten {\large\bf Ergebnisse - Version 2 } +\begin{itemize} + \item Dosisentwicklung +\end{itemize} \begin{figure} \begin{center} \includegraphics[width=12cm]{dosis_entwicklung2.eps} \end{center} \end{figure} -Dosisentwicklung \\ -{\small a) $1.0 \times 10^{17} cm^{-2}$} \\ -{\small b) $3.3 \times 10^{17} cm^{-2}$} \\ -{\small c) $4.3 \times 10^{17} cm^{-2}$} \\ \end{slide} \begin{slide}