\begin{block}{Name}
{\bf N}ano {\bf L}amellar {\bf S}elbst{\bf o}rganisations{\bf p}rozess
\end{block}
- \begin{block}{Grober Ablauf}
- \begin{itemize}
- \item Amorphisierung/Rekristallisation
- \item Kohlenstoffeinbau
- \item Diffusion/Sputtern
- \end{itemize}
- \end{block}
- \begin{block}{Versionen}
- \begin{itemize}
- \item Version 1 - Simulation bis $300 \, nm$ Tiefe
- \item Version 2 - Simulation "uber den ganzen Tiefenbereich
- \end{itemize}
- \end{block}
-\end{frame}
-
-\begin{frame}
- \frametitle{Simulation}
- \framesubtitle{Unterteilung des Targets}
- \begin{center}
- \includegraphics[width=8cm]{gitter_oZ.eps}
- \end{center}
+ \begin{columns}
+ \column{6cm}
+ \scriptsize{
+ \begin{block}{Grober Ablauf}
+ \begin{itemize}
+ \item Amorphisierung/Rekristallisation
+ \item Kohlenstoffeinbau
+ \item Diffusion/Sputtern
+ \end{itemize}
+ \end{block}
+ \begin{block}{Versionen}
+ \begin{itemize}
+ \item Version 1 - Simulation bis $300 \, nm$ Tiefe
+ \item Version 2 - Simulation "uber den gesamten Implantationsbereich
+ \end{itemize}
+ \end{block}
+ }
+ \column{6cm}
+ \includegraphics[width=6cm]{gitter_oZ.eps}
+ \begin{center}
+ \scriptsize{Unterteilung des Targets}
+ \end{center}
+ \end{columns}
\end{frame}
\begin{frame}
\frametitle{Ergebnisse}
\framesubtitle{Zusammenfassung, Version 2}
\begin{itemize}
- \item Modell/Simulation reproduziert die dosisabh"angige Bildung der amorphern Phasen
+ \item Modell/Simulation reproduziert die dosisabh"angige Bildung der amorphen Phasen
\item Gute "Ubereinstimmung zwischen Experiment und Simulation (bis auf $30 \, nm$-Shift)
\item Entwicklung der Grenzfl"achen und lamellaren Ausscheidungen reproduzierbar
\item "Ubereinstimmung der Kohlenstoffkonzentration an den Grenzfl"achen
- \item Detailierte Untersuchungen zur Kohlenstoffkonzentration und zur genauen Struktur der Ausscheidungen
+ \item Detaillierte Untersuchungen zur Kohlenstoffkonzentration und zur genauen Struktur der Ausscheidungen
\end{itemize}
\end{frame}
\frametitle{Zusammenfassung}
\begin{itemize}
\pause
- \item Experiemntell beobachtete selbstorganisierte Anordnung amorpher $SiC_x$-Ausscheidungen
+ \item Experimentell beobachtete selbstorganisierte Anordnung amorpher $SiC_x$-Ausscheidungen
\pause
\item Modell zur Beschreibung des Selbstorganisationsvorganges
\pause
\item Implementierung in einen Monte-Carlo-Simulationscode
\pause
- \item Ergebnisse der Simulation reproduzieren die experiemntellen Befunde
+ \item Ergebnisse der Simulation reproduzieren die experimentellen Befunde
\pause
- \item Detailierte Untersuchungen zur Kohlenstoffkonzentration und zur Struktur der Ausscheidungen m"oglich
+ \item Detaillierte Untersuchungen zur Kohlenstoffkonzentration und zur Struktur der Ausscheidungen m"oglich
\pause
\item Vorhersage zur Herstellung gro"ser Bereiche lamellar geordneter Strukturen
\end{itemize}